1. 負責人身份證影本。
2. 營利事業登記證影本。
3. 工廠登記證影本(或縣市政府免辦工廠登記證影本、臨時工廠登記證影本)。
4. 勞保繳費收據影本(申請當月前二個月之前一年)。
5. 退休準備金提撥繳費收據影本(申請當月前二個月之前一年)。
6. 機器設備證明文件。
7. 最近1年營所稅繳納證明(營利事業所得稅結算申報書),應包含:
a. (1)資料封面 (2)總表 (3)申報書 (4)資產負責表 (5)財產目錄之機器設備明細。
b.工廠設立未滿1年者,應檢附下列影本:
(1)新購置機器設備發票 (2)海關核發之進口報單 (3)其他實際支付憑證。
※資源化產業類別須再檢附下列之一資格證明文件:事業廢棄物再利用許可、通過公告再利用檢核者、公民營廢棄物處(清)理機構、應回收廢棄物處理業、工業廢棄物共同清除處理機構。